탄소나노튜브 트랜지스터형 유기인 화합물 가스 탐지용 가스센서 및 그 제조방법(CARBON NANOTUBE TRANSISTER-BASED GAS SENSOR FOR DETECTING ORGANOPHOSPHOROUS COMPOUND GAS AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME)
등록번호 1183920조회수 47
- 기술구분
- 국방특허기술
- 기술분야
- 정보/통신
- 상세분야
- 가스센서
- 등록일
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- 발명자
- 서병일 | 최선경 | 이정오 | 정영식 | 곽준혁
기술 내용
본 발명은 탄소나노튜브 트랜지스터(CNT-FET)를 기반으로 하는 유기인 화합물 가스(organophosphorus comopund gas) 탐지용 가스 센서에 관한 것으로, 보다 구체적으로 단일벽 탄소나노튜브 트랜지스터의 전극(금) 표면에 티올기 또는 시아노기를 통해 고정화시킨 인식물질과 검출 대상 가스와의 반응에 따른 쇼트키 장벽의 변화를 통해 유기인 화합물 가스, 특히 화학전 및 화학테러 등에 사용될 수 있는 신경작용제에 대한 높은 선택성 및 감도를 나타내는 탄소나노튜브 트랜지스터형 유기인 화합물 가스센서에 관한 것이다.