액체금속 액적과 패브리-페로 간섭계를 이용한 마이크로 가속도계(A micro accelerometer using a liquid metal droplet and Fabry-Perot interferometry)
등록번호 1283924조회수 9
- 기술구분
- 국방특허기술
- 기술분야
- 기계/소재
- 상세분야
- 가속도계
- 등록일
- -
- 발명자
- 김준원 | 박우성 | 이진승
기술 내용
본 발명의 액체금속 액적과 패브리-페로 간섭계를 이용한 마이크로 가속도계에 의하면, 액체금속 액적의 움직임(이동)을 연속으로 감지해 낼 수 있을 뿐 아니라, 패브리-페로 간섭계의 원리에 따라 액체금속 액적의 미세한 움직임(예를 들면, 1∼10옹스트롬(angstrom)의 이동)까지 감지해 낼 수 있기 때문에, 초고해상도의 신호 검출이 가능하다.