기술검색

기술 내용

본 발명은, 나노와이어 합성장치와 나노와이어 합성방법을 개시한다. 나노와이어 합성장치는 합성튜브, 발열체, 반응기체와 희석기체를 공급하는 기체공급부를 포함하고, 상기 합성튜브는, 상기 발열체에 의해 가열되어 생성된 분말원료의 반응기상종을 상기 반응기체와 반응시키도록 형성되는 분해영역, 및 상기 분해영역으로부터 이격되어 상기 분해영역보다 낮은 온도로 유지되고 상기 희석기체에 의해 운반된 상기 반응기상종과 상기 반응기체를 기공구조체에 반응시켜 나노와이어를 생성하도록 형성되는 증착영역을 포함한다. 나노와이어 합성방법은 합성튜브의 내부에 분말원료와 기공구조체를 서로 이격되도록 배치시키는 단계, 합성튜브를 감압하고 희석기체를 공급하는 단계, 가열하여 상기 분말원료의 반응기상종을 생성하는 단계, 반응기체를 합성튜브로 공급하는 단계, 및 상기 희석기체를 이용해 상기 반응기상종과 상기 반응기체를 상기 기공구조체로 운반하여 상기 기공구조체에 나노와이어를 형성하는 단계를 포함한다.