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기술 내용

1. 민수사업화명

아몰퍼스 자성체 와이어를 이용한 직교형 플러스 게이트 센서 개발 기술

2. 특허기술명

아몰퍼스 자성체 와이어를 이용한 직교형 플러스게이트 센서

3. 개요

MEMS 공정의 자기센서 제작을 위해 아몰퍼스 자성체 와이어를 사용할 경우 자성체 와이어

의 전기적인 접속을 용이하게 하는 전극 접속 방법과 이 방법을 적용한 MEMS 자기감응소

자 및 직교형 플럭스게이트 센서를 제안함

4. 특징

아몰퍼스 자성체 와이어의 전극 접속 방법은, 아몰퍼스 자성체 와이어를 기판에 전기적으로

접속하는 방법에 있어서 아몰퍼스 자성체 와이어의 전극 설치 부위를 전기 도금한 후 기판

의 전극에 전기적으로 접속하는 것을 특징으로 함. 아몰퍼스 자성체 와이어를 이용한

MEMS 자기감응소자는 인가된 전류를 통해 원주 방향의 여자 자계를 형성하는 아몰퍼스 자

성체 와이어, 자성체 와이어가 실장되는 기판, 자성체 와이어 양쪽 끝단에 전기 도금한 입/

출력 전극 및 기판과 자성체 와이어의 전기적인 접속을 위한 기판 전극을 포함함. 이러한

자기감응소자 주위에 검출코일을 설치하고, 검출코일에 유기되는 전압(기전력)을 읽게 되면

직교형 플럭스게이트센서로 활용 가능함.

5. 민수활용분야

- 자동차 및 이동통신기기용 자기센서

- 공장 자동화(FA)용 자기센서, 바이오/의료용 자기센서

6. 군수활용분야

- 수중 물체 탐지용 초소형 자기센서

- 함정 자기신호 측정용 자기센서