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기술 내용

1.특허기술명 진동형 자이로스코프 전극형상2.개요 자동차용 항법장치, 카메라 안정화 모듈, 전술유도무기 등에 탑재되는 정전용량 MEMS(Microelectro-mechanical systems) 관성센서의 전극을 개선하여 성능과 생산수율을 높이는 것을 제안함3.특징 통상 기존 정전용량 MEMS 관성센서의 전극형태는 구동전극면과 감지전극면사이의 간격이 일정한 틈새를 유지하면서 배치되어 있다. 이에 따라 공정수율과 원하지 않는 전기적 잡음을 발생시키는 제약을 가지고 있었으나 전극배열 간격을 일정하게 유지하지 않고 전극중앙의 간극은 좁고 전극양단으로 갈수록 간극이 넓어지도록 함으로써 감지민감도를 확보하면서 온도드리프트, 공정오차 및 전극간 간섭문제를 해결할 수 있는 전극형상을 창안하였다4.군수활용분야 GPS와 결합한 MEMS 관성센서를 사용하는 무기체계중 무인기의 항법 성능 향상, 전술유도무기 사거리 증대5.민수활용분야 MEMS 관성센서를 사용하는 스마트폰, 자동차용 항법장치, 게임기, 카메라 등에 범용으로 적용하여 성능 및 수율을 획기적으로 향상 시킬 수 있음