고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치 및 그 가이드 장치의 설계 방법
등록번호 10-1736153조회수 20
- 기술구분
- 국방특허기술
- 기술분야
- 기계/소재
- 상세분야
- 나노마이크로 기계시스템
- 등록일
- 2017/05/10
- 발명자
- 남병욱
기술 내용
-민수사업화명 : 초정밀 구동을 위한 가이드 메커니즘
-개요 : 본 발명은 고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치에 관한 것으로, 유연형 힌지 기반의 가이드 메커니즘을 기반으로 마찰력 및 마모등에서 자유로우며, 구동기 및 위치센서의 분해능 수준의 미세 구동이 가능하게 하므로서 미소 변위내에서 초정밀 수준의 정밀도를 요구하는 구동시스템에 적용될 수 있음.
-특징 : 본 발명은 고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치에 관한 것으로, 유연형 힌지 기반의 가이드 메커니즘을 기반으로 마찰력 및 마모등에서 자유로우며, 구동기 및 위치센서의 분해능 수준의 미세 구동이 가능하게 하므로서 미소 변위내에서 초정밀 수준의 정밀도를 요구하는 구동시스템에 적용될 수 있음.
-민수활용분야 : 반도체 검사장비등의 초정밀 구동분야
-출원일 : 2016-12-27
-등록일 : 2017-05-10