마이크로 압전 구조체 및 그 제조 방법
등록번호 10-2089554조회수 110
- 기술구분
- 국방특허기술
- 기술분야
- 기계/소재
- 상세분야
- 나노.마이크로 기계시스템
- 등록일
- 2020/03/10
- 발명자
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기술 내용
- 민수사업화명 : 압전 센서를 구성하는 마이크로 구조물 제조 방법 - 개요 : 본 특허는 기계에너지와 전기에너지의 상호변환이 가능한 마이크로 압전 구조체를 제조함에 있어서 분말사출성형법을 이용한 3차원 형상의 마이크로 압전 구조체의 재현성을 확보함과 아울러 대형화 및 대량 생산이 가능한 제작 기술이다. - 특징 : LIGA(Lithography, Electroplating, Molding)공정을 바탕으로 음각형태의 희생 몰드를 제작하고 폴리메타크릴산 메틸과 스페이스-홀더, 및 바인더 혼합원료로 마이크로 압전 구조체를 제작한다는 것이 특징이다. - 민수활용분야 : 압전 센서 - 출원번호 : 10-2018-0005749 - 출원일 : 2018-01-16 - 등록번호 : 10-2089554 - 등록일 : 2020-03-10