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기술 내용

- 특허기술명 : 가연성 소재를 이용한 MEMS 기반 압전 에너지 하베스터 제작 방법

-산업기술분류 : 기계소재-금속재료-에너지소재기술

-국방과학기술분류 : 탄약/에너지-전원/전력 발생/공급-에너지 생산/변환

-소속기관 : 국과연 미사일원 2부 2팀

-발명자 : 서창의|고중혁|신동진|강우석

-출원번호 : 10-2015-0057807

-출원일 : 2015-04-24

-등록번호 : 10-1648344

-등록일 : 2016-08-09

-개요 : 가연성 소재를 일정한 두께로 경화시키고, 경화된 가연성 소재를 천공(drilling) 공정으로 성형(shaping)하여 패턴화한 가연성 틀을 형성하는 제 1 단계;가연성 틀에 압전 세라믹 파우더를 채우고, 상기 가연성 틀을 연소시키면서 상기 압전 세라믹 파우더를 소결시켜 압전 세라믹 필러(200)를 형성하는 제 2 단계;상기 압전 세라믹 필러(200)의 상부 및 하부에 전극판을 부착하여 상부 전극(101)과 하부 전극(102)을 형성하는 제 3 단계; 및상부 전극(101)과 하부 전극(102) 사이에서 압전 세라믹 필러(200)를 제외한 공간에 PDMS(polydimethylsiloxane) 탄성체(300)를 채우는 제 4 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기반 압전 에너지 하베스터 제작 방법