집적 광학 소자 및 이에 사용되는 공간 필터의 제조 방법(A INTEGRATED OPTICAL DEVICE AND METHOD OF FABRICATING A SPATIAL FILTER USING THEREIN)
등록번호 0900898조회수 18
- 기술구분
- 국방특허기술
- 기술분야
- 전기/전자
- 상세분야
- 직접 광학소자
- 등록일
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- 발명자
- 안준은 | 조민식
기술 내용
본 발명은 높은 편광 소광 특성을 지니는 집적 광학 소자 및 이에 사용되는 공간 필터의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판의 상면에 길이 방향으로 도파로가 형성되고, 상기 기판의 하면에 그루브가 형성되며, 이 그루브를 이루는 적어도 일부의 표면에 비정질 영역 및 마이크로 크랙이 형성된 것을 특징으로 하는 집적 광학 소자를 제공한다. 또한, 본 발명은 집적 광학 소자 기판의 일 면에 그루브를 형성하는 단계와, 상기 그루브를 이루는 적어도 일부의 표면을 레이저 조사에 의해 비정질화시키고 이 비정질화된 표면에 마이크로 크랙을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 집적 광학 소자용 공간 필터의 제조 방법을 제공한다.