양면전극 형태의 미세 압력센서의 제조방법(Method for Manufacturing Top and Bottom Electrodes Type Micro Pressure Sensor)
등록번호 1077577조회수 31
- 기술구분
- 국방특허기술
- 기술분야
- 전기/전자
- 상세분야
- 압력 센서
- 등록일
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- 발명자
- 권태헌 | 이현섭 | 김봉관 | 조치영 | 조요한
기술 내용
본 발명은 미세크기로 제조가 용이하면서도 센서의 감응감도가 뛰어난 양면전극 형태의 압력센서 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.이를 해결하기 위해, 본 발명은 얇은 금속전극 위에 먼저 전기활성고분자 복합체인 센서감응물질을 패터닝하여 캔틸레버 형태의 구조로 하고, 외부로부터 인가되는 외부압력의 방향과 센서감응물질에 의한 감응방향이 일치하도록 상기 금속전극을 하부의 금속전극에 대향하는 상태로 접합하는 간단한 과정을 통해 미세 압력센서를 제조한다.