미세 유체유동센서 및 이를 이용한 수중청음기(The Micro Flow Sensor and Hydrophone Using the Same)
등록번호 1101220조회수 28
- 기술구분
- 국방특허기술
- 기술분야
- 전기/전자
- 상세분야
- 수중청음기
- 등록일
- -
- 발명자
- 권태헌 | 이현섭 | 조치영 | 조요한
기술 내용
본 발명은 깊은 물속에서 발생하는 미세한 유체유동의 변화를 직접적으로 감지하여 유체유동의 크기와 방향을 모두 감지할 수 있도록 하는 미세 유체유동센서에 관한 것으로서,외부의 유체유동을 감지할 수 있도록 돌출 형성되고 유체유동에 의해 휘어지며, 직경에 비해 상대적으로 길이가 긴 고폭비를 갖는 미세 감응 구조물(11)과; 상기 미세 감응 구조물(11)이 설치된 지지 구조물(13)에 설치되고 상기 미세 감응 구조물(11) 하단의 사방에 각각 접합되어 상기 미세 감응 구조물(11)의 움직임에 따른 압력변화를 감지하는 4개의 응력센서(12);를 포함하며, 수십 내지 수백 ㎛ 크기의 미세한 유체유동을 감지하는 것을 특징으로 한다.따라서, 미세 유체유동의 방향 및 크기를 계산할 수 있으므로 유체유동 감지의 신뢰성이 향상된다. 그리고, 이 미세 유체유동센서를 통해 진동파의 형태로 전달되는 수중소음을 측정하는 수중청음기를 구성할 수 있다.