공정 간 저항 균일도를 향상시킨 볼로미터 적외선 센서 및 그의 제작 방법(Bolometric infrared sensor improving resistive run-to-run variation and Method for manufacturing the same)
등록번호 1274026조회수 15
- 기술구분
- 국방특허기술
- 기술분야
- 정보/통신
- 상세분야
- 적외선 센서
- 등록일
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- 발명자
- 이강일 | 김치연 | 김선호 | 김남환 | 박용수
기술 내용
본 발명은 적외선 센서에 관한 것으로서, 더 상세하게는 공정 간 편차에 의해 발생하는 저항체의 비저항 불균일 문제를 저항체 패턴 조절과 컨택 패턴간격 조절을 통해 개선한 볼로미터 적외선 센서에 관한 것이다. 본 발명은 볼로미터 적외선 센서의 저항체 비저항이 공정간 편차로 인하여 동일한 저항체 저항을 얻지 못하여 발생되는 볼로미터 성능 변화를 방지하여 규격화된 성능을 갖는 볼로미터 적외선 센서를 양산 할 수 있게 하며 이로 인한 수율 향상을 기대할 수 있게 한다.