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기술 내용

1. 민수사업화명

고정밀 압력센서-가속도센서 조립체의 휨 저감방법

2. 특허기술명

양극 접합된 실리콘/유리 기판 조립체의 휨 저감방법

3. 개요

본 발명은 실리콘 기판과 유리 기판을 고온에서 양극접합하였을 때 상온 환경에서 발생하는

기판 결합체의 휨을 저감시키기 위한 방법에 관한 것으로, 특히 양극접합의 공정 온도를 낮

추지 않고도 기판 결합체의 휨을 개선할 수 있는 실리콘/유리 기판 결합체의 휨 저감방법을

제안함

4. 특징

양극접합에 의한 실리콘/유리 기판 결합체의 휨을 개선하는 방법으로 실리콘/유리 기판 결

합체에 유리 기판을 보강함으로써, 실리콘/유리 기판 결합체의 실리콘 기판 면에 형성된 센

서 구조체의 응력을 저감시켜 오프셋 전압의 발생을 억제하고 상기 센서의 수명 저하를 방

지할 수 있도록 하는 양극접합된 실리콘/유리 기판 결합체 휨 저감방법을 제공

5. 민수활용분야

고정밀 압력센서/가속도센서 개발에 활용 가능, 센서 제작을 위한 공정기술로 해당 기술 단

위의 시장성 평가 불가능

6. 군수활용분야

-고정밀 압력센서/가속도센서 개발