기계/소재플라즈마 발생 전극모듈, 플라즈마 발생 전극 집합체 및 이를 이용한 플라즈마 발생 장치등록번호 10-1573231조회수 59기술구분국방특허기술기술분야기계/소재상세분야-등록일2015/11/25발명자정희수 | 이해완첨부파일10-1573231.pdf623KB기술 내용공백